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直拉单晶硅工艺学
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填空题
籽晶定向有三种方法,(),()和()。
【参考答案】
X射线照象法;单色X射线衍射法;光图象法
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拉制的硅单晶沿[111]晶向生长的有()的棱线,沿[100]晶向生长有()均匀分布的棱线。
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对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉,石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗,然后进行清洁处理,多晶硅、母合金、籽晶一般用()腐蚀。
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