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问答题

简答题

根据基片应变里求薄膜变形量的方法有哪些?

    【参考答案】

    (1)把基片一端固定,求出膜生长时产生的自由端位移d;
    (2)使用圆形基片,从牛顿环的移动量求出d;

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