问答题
简答题
当薄膜的厚度tf相对和基片的厚度ts很小时，薄膜和基片膨胀系数的相对大小对薄膜应力的性质的影响如何？当应力过大时薄膜会产生何现象？
【参考答案】
（1）当af>as时，薄膜则存在拉应力；
（2）而当af当薄膜受到压应力作用时，薄膜一般会出现起皱、起泡和剥离现......
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