相关考题
-
多项选择题
单晶炉的机械传动部分的相关描述（）
A.主要包括籽晶轴（上轴）、坩埚轴和驱动它们上升、下降或旋转的电机
B.籽晶轴和坩埚轴的旋转由力矩电机（或直流电机）分别经过皮带（或齿轮）变速后带动抱轮使其旋转
C.籽晶轴和坩埚轴的上升或下降通过通过两个力矩电机（或直流电机）驱动螺纹旋转完成
D.坩埚轴比籽晶轴有更缓慢上升或下降速度 -
多项选择题
坩埚轴（下轴）由不锈钢制成，由双层管组成，通流动水冷却。关于下轴的作用描述正确的是（）
A.它通过托杆、托碗支撑石英坩埚中的多晶硅
B.通过籽晶卡头装卡籽晶，并且边旋转，边向上运动
C.调节埚内熔硅液面的位置
D.调节热系统中坩埚内熔硅的温度分布 -
多项选择题
单晶炉体结构中，以下属于炉膛结构的是（）
A.观察窗、炉门（钟罩式无有）
B.紫铜电极、热电偶侧温孔
C.光学直径监测孔
D.外接真空管道和保护气体进口
