多项选择题
单晶炉体结构中，以下属于炉膛结构的是（）
A.观察窗、炉门（钟罩式无有）
B.紫铜电极、热电偶侧温孔
C.光学直径监测孔
D.外接真空管道和保护气体进口
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多项选择题
以下哪些是直拉单晶炉加热系统的发展经历？（）
A.自从1917年由切克劳斯基建立直拉法并拉出单晶时，使用电阻式加热方式，在后期的发展中不断改进，并出具规模
B.开始使用用高频加热方式，这种方式粗糙简单，在以后的发展中不断改进，增加了坩埚的旋转和一些附属件，终于使这种加热方式初具规模
C.外热式单晶炉对进一步扩大单晶硅生产阻碍较大，因此在直拉单晶炉的发展中出现了内热式
D.内热式单晶炉用高纯石墨做发热体，发热体外面放保温材料，放在密封水冷的不锈钢炉膛内 -
多项选择题
为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，直拉单晶的发展趋势（）
A.单晶的大直径化势在必行，石英坩埚大直径化和大投料量
B.计算机自动控制拉晶过程大型直拉单晶炉
C.直拉单晶炉设备大型化和自动化
D.解决直拉单晶的微区、均匀性和晶体的完美性 -
多项选择题
外延法生长单晶描述正确的是（）
A.生长速度快
B.通过气相或者液相在衬底上生长外延层的一种方法
C.可以改善单晶衬底表面性能，提高单晶电子特性
D.生长速度一般很慢
