多项选择题
为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率,降低生产成本,直拉单晶的发展趋势()
A.单晶的大直径化势在必行,石英坩埚大直径化和大投料量
B.计算机自动控制拉晶过程大型直拉单晶炉
C.直拉单晶炉设备大型化和自动化
D.解决直拉单晶的微区、均匀性和晶体的完美性
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多项选择题
外延法生长单晶描述正确的是()
A.生长速度快
B.通过气相或者液相在衬底上生长外延层的一种方法
C.可以改善单晶衬底表面性能,提高单晶电子特性
D.生长速度一般很慢 -
多项选择题
下列哪些是片状单晶生长法的特点?()
A.省掉部分切磨抛工艺,大大提高了材料的利用率
B.熔硅依靠毛细管作用,沿狭缝升到模具表面和籽晶融合
C.拉速可达3000毫米/小时
D.单晶表面完整,不须加工或少许加工就可制做器件 -
多项选择题
片状单晶生长法(EFG法)描述正确的是()
A.片状单晶生长法是近几年发展的一种单晶生长技术,拉速可达3000毫米/小时
B.用一根固定在籽晶轴上的籽晶插入熔体表面,慢慢向上拉籽晶,晶体便在籽晶下端生长
C.将用石墨或者石英制成的有狭缝的模具浸在熔硅中,熔硅依靠毛细管作用,沿狭缝升到模具表面和籽晶融合,用很快的速度拉出
D.用卡具将多晶棒下端卡住,高频线圈在多晶硅棒上端产生熔区,由上方插入籽晶,将籽晶慢慢向上提起,生长出单晶
