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单项选择题
CVD中为了保持非晶硅特性,需要添加的元素是()
A.N
B.H
C.Si
D.O -
单项选择题
CF的本质是在Glass上镀()
A.液体小分子膜
B.有机高分子膜
C.金属膜
D.无极非金属膜 -
单项选择题
CF工程中,最贵、对Pattern样子的形成起决定作用的设备是()
A.显影机
B.曝光机
C.OVEN
D.Coater