单项选择题
CVD设备中内部有Robot的设备是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber
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CVD中主要进行镀膜的设备是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber -
单项选择题
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A.N
B.H
C.Si
D.O -
单项选择题
CF的本质是在Glass上镀（）
A.液体小分子膜
B.有机高分子膜
C.金属膜
D.无极非金属膜
