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单项选择题
CVD设备中内部有Robot的设备是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber -
单项选择题
CVD中主要进行镀膜的设备是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber -
单项选择题
CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）
A.N
B.H
C.Si
D.O
