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单项选择题
刻蚀过程中产生的废气需要()。
A.直接排放
B.过滤处理
C.压缩储存
D.无需处理 -
单项选择题
刻蚀均匀性的衡量指标是()。
A.厚度偏差
B.面积偏差
C.深度偏差
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀机的自动化程度主要体现在()。
A.自动上下料
B.自动控制参数
C.自动故障诊断
D.以上都是