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单项选择题
以下哪种不是影响刻蚀选择性的因素（）？
A.材料结构
B.刻蚀气体浓度
C.刻蚀时间
D.刻蚀温度 -
单项选择题
刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？
A.光源波长
B.镜头质量
C.刻蚀气体种类
D.样品表面平整度 -
单项选择题
以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？
A.激光刻蚀
B.干法刻蚀
C.湿法刻蚀
D.三者均可
