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单项选择题
刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？
A.光源波长
B.镜头质量
C.刻蚀气体种类
D.样品表面平整度 -
单项选择题
以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？
A.激光刻蚀
B.干法刻蚀
C.湿法刻蚀
D.三者均可 -
单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的关键部件（）？
A.真空泵
B.气体流量计
C.加热装置
D.冷却装置
