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直拉单晶硅工艺学
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填空题
常见的加热器有三种形状，筒形、杯形、螺旋形，目前绝大多数加热器为（）。
【参考答案】
筒形
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填空题
直拉法生长单晶硅的热场，沿[111]晶向生长的纵向温度梯度（）沿[110]晶向生长的纵向温度梯度，沿[100]晶向生长的纵向温度梯度（）。
填空题
硅单晶各晶面之间的（）是不同的，各晶面上的原子密度也不同。
填空题
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