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单项选择题
CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber -
单项选择题
CVD中起到冷却作用的设备是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber -
单项选择题
下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）
A.EPD（末端探测仪）
B.MFC（质量流量控制器）
C.Orifice（过压阀）
D.APC（自动压力控制器）
