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直拉单晶硅工艺学
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填空题
了解加热器发热时的()状况对配制热场非常重要。
【参考答案】
温度分布
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()是热系统的主体,是热系统的关键部件。
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热场主要受()系统影响,该系统变化热场一定变化。
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单晶硅是在热场中进行拉制的,热场的优劣对()有很大影响。
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