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多项选择题
真空系统描述正确的是（）
A.真空系统使直拉单晶炉获得真空并测量真空度高低
B.包括机械泵、扩散泵（有些单晶炉没有扩散泵）、真空阀门和真空管道组成
C.直拉单晶炉常用油封式旋片式机械真空泵，它体积小振动小噪声低，是直拉单晶炉理想的获得真空的设备
D.扩散泵一般和机械泵联合使用，机械泵抽得炉膛真空小于4×10-1乇后，扩散泵才开始工作，单晶炉膛真空可抽到10-5乇 -
多项选择题
直拉单晶炉热系统包括哪些（）
A.加热器
B.保温罩
C.石墨电极
D.石英坩埚 -
多项选择题
下列属于直拉单晶炉的电气部分的是（）
A.配电盘
B.控制柜
C.变压器
D.电机
