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西门子法中用干燥的()与工业硅粉反应,制备()。 -
填空题
将()用焦炭在炭电极的电弧炉中还原,可制取工业硅。 -
多项选择题
关于硅单晶生长过程中,氧碳含量的描述正确的是()
A.单晶中氧含量自然减少,对单晶品质影响很大,所以硅单晶中氧含量越低越好
B.氧在单晶中的径向均匀性越低越好
C.硅单晶中碳含量对单晶品质有较大影响,所以碳含量越低越好
D.硅单晶中碳含量碳含量的径向均匀性越低越好
