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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

填空题

炉体由炉底座、炉膛、炉顶盖、副室、（）、（）、光学图像等直径监测器等部件组成。

    【参考答案】

    坩埚轴（下轴）；籽晶轴（上轴）

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