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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

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直拉单晶炉型式尽管不同，总的说来，主要由炉体、电气控制部分、（）、（）、（）五大部分组成。

    【参考答案】

    热系统；水冷系统；真空系统

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