填空题
常规平面工艺扩散工序中的恒定表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。常规平面工艺扩散工序中的有限表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。
【参考答案】
余误差；高斯分布
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填空题
余误差；高斯分布
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