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直拉单晶硅工艺学
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填空题
从熔体中生长单晶所用()法和()法,是当前生产硅单晶的主要方法。
【参考答案】
直拉;区熔
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为了促进生长界面稳定,可采用下列办法。系用较大的(),较慢的()和较小的()。
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