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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

填空题

西门子法中通常用（）还原（），生成多晶硅沉积在（）上。

【参考答案】

高纯氢；高纯三氯氢硅；硅芯

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