多项选择题
直拉法生产硅单晶工艺尽管种类繁多，下列选项中对这些工艺的工艺特点描述正确的是（）
A.高真空工艺单晶炉膛保持10-3乇或更高的真空度
B.低真空工艺单晶炉膛内真空度保持10-1～10-2乇
C.在拉制硅单晶时一次充入单晶炉膛内0.2～0.4kg压强高纯氩气（表压），称为不流动气氛
D.拉制硅单晶时，连续不断地向单晶炉膛内充入高纯氩，保护炉膛内气体是正压（表压），同时又使部分氩气沿管道向外溢出，这种工艺称为流动气氛
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多项选择题
高纯水的制取中用离子交换法，存在哪些缺点？（）
A.制水周期长，树脂工作周期短，容易失效
B.树脂再生操作繁重，再生时消耗大量的酸和碱再生剂，再生废液对环境的污染严重
C.用离子交换法制取高纯水仅为科研采用
D.离子交换设备复杂，需要的离子交换树脂昂贵不实用 -
多项选择题
关于高纯水的描述正确的是（）
A.实际生产中，为了提高水的纯度，高纯水的制备包括用紫外线照射杀菌
B.用微孔滤膜（由聚苯乙烯或四氟乙烯等薄膜制成），以除去水中大于滤膜孔径（约0.5微米）的各种微粒
C.一级超纯水适用于生产大规模集成电路，微波器件和具有相同要求的半导体器件产品的清洗剂
D.二级超纯水适用于单晶硅生产原材料的清洗剂 -
多项选择题
高纯水的制取是将预处理过的树脂入离子交换柱内，出水口与进水口在交换柱工作时使用，其余各口再生处理时使用，为防止树脂流失可在下法兰盖处垫一层尼龙布，关于离子交换柱描述正确的是（）
A.离子交换柱一般用有机玻璃制成，它结构简单，机械强度高，密封性好，能承受一定水压，出水通畅
B.离子交换柱容易被硝酸、氢氧化钠、氢氟酸等腐蚀
C.离子交换柱有单床和混床两种形式，工业上往往单床混床串联使用
D.放入离子交换柱的树脂需进行预处理，这里的预处理指的是膨胀处理和变型处理
