多项选择题
对热系统描述正确的是()
A.直拉单晶炉热系统由加热器、保温系统、支持机构、托杆、托碗等组成
B.保温系统用石墨制成,也有碳素纤维、碳毡、高纯石英钼片和高纯石墨其中几种材料混合组成
C.热系统的大小、高矮、厚薄不同,温度的变化不同
D.用温度梯度从数量上描述温度分布情况
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多项选择题
关于氩气净化方法说法准确的是()
A.锆铝16净化法,锆铝16可在400℃~650℃范围内工作,净化纯度露点可达-60℃以下
B.海绵钛净化法银分子筛氩气净化装置结构简单,运行时不需加热,净化效果好
C.海绵钛氩气净化装置和锆铝氩气净化装置相似,把装锆铝的容器改装海绵钛,运行时海绵温度保持在900℃左右。海绵钛一般装在石英管中
D.锆铝16净化法,锆铝16氩气净人装置设备简单,锆铝本身价格较便宜,锆铝16不能再生 -
多项选择题
下列哪些不是单晶炉的真空系统中测量真空度的设备?()
A.热偶真空计
B.电离真空计
C.热阴极电离规管
D.电阻规管 -
多项选择题
真空系统描述正确的是()
A.真空系统使直拉单晶炉获得真空并测量真空度高低
B.包括机械泵、扩散泵(有些单晶炉没有扩散泵)、真空阀门和真空管道组成
C.直拉单晶炉常用油封式旋片式机械真空泵,它体积小振动小噪声低,是直拉单晶炉理想的获得真空的设备
D.扩散泵一般和机械泵联合使用,机械泵抽得炉膛真空小于4×10-1乇后,扩散泵才开始工作,单晶炉膛真空可抽到10-5乇
