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填空题

设计与生产一种最简单的硅双极型PN结隔离结构的集成电路,需要()、()、()、()、()、()等六次光刻。

    【参考答案】

    埋层光刻;隔离光刻;基区光刻;发射区光刻;引线区光刻;反刻铝电极

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