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直拉单晶硅工艺学
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填空题
用直拉法制备硅单晶时,把()放入(),在硅单晶炉内进行熔化。
【参考答案】
高纯多晶硅;高纯石英坩埚
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填空题
()也叫切克劳斯基(Czochralsik)方法,此法早在1917年由切克斯基建立的一种晶体生长方法,后来经过很多人的改进,成为现在制备单晶硅的主要方法。
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从熔体中生长单晶所用()法和()法,是当前生产硅单晶的主要方法。
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