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单项选择题
下列属于固态源扩散的是（）
A.五氧化二磷
B.硼酸三甲酯
C.氮化硼 -
单项选择题
下列属于涂布源扩散的是（）
A.五氧化二磷
B.硼酸三甲酯
C.氮化硼 -
单项选择题
下列属于液态源扩散的是（）
A.五氧化二磷
B.硼酸三甲酯
C.氮化硼
