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单项选择题
下列属于涂布源扩散的是（）
A.五氧化二磷
B.硼酸三甲酯
C.氮化硼 -
单项选择题
下列属于液态源扩散的是（）
A.五氧化二磷
B.硼酸三甲酯
C.氮化硼 -
单项选择题
硅片表面污染的杂质，原子型杂质可分为（）
A.K+，Na+，Ca2+，F-，CL-，CO32-
B.油脂、腊、松香
C.金、铂、铜、铁
