相关考题
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单项选择题
刻蚀过程中的横向刻蚀主要影响()。
A.图形精度
B.刻蚀速率
C.刻蚀选择性
D.刻蚀均匀性 -
单项选择题
刻蚀机的控制系统通常采用()。
A.单片机
B.PLC
C.工业电脑
D.以上均可 -
单项选择题
提高刻蚀选择性的方法包括()。
A.优化刻蚀气体配比
B.控制刻蚀温度
C.选择合适的掩膜材料
D.以上都是