多项选择题
坩埚轴(下轴)由不锈钢制成,由双层管组成,通流动水冷却。关于下轴的作用描述正确的是()
A.它通过托杆、托碗支撑石英坩埚中的多晶硅B.通过籽晶卡头装卡籽晶,并且边旋转,边向上运动C.调节埚内熔硅液面的位置D.调节热系统中坩埚内熔硅的温度分布
多项选择题 单晶炉体结构中,以下属于炉膛结构的是()
多项选择题 以下哪些是直拉单晶炉加热系统的发展经历?()
多项选择题 为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率,降低生产成本,直拉单晶的发展趋势()