多项选择题
单晶炉体结构中，以下属于炉膛结构的是（）
A.观察窗、炉门（钟罩式无有）B.紫铜电极、热电偶侧温孔C.光学直径监测孔D.外接真空管道和保护气体进口
多项选择题 以下哪些是直拉单晶炉加热系统的发展经历？（）
多项选择题 为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，直拉单晶的发展趋势（）
多项选择题 外延法生长单晶描述正确的是（）
