多项选择题
以下哪些是直拉单晶炉加热系统的发展经历？（）
A.自从1917年由切克劳斯基建立直拉法并拉出单晶时，使用电阻式加热方式，在后期的发展中不断改进，并出具规模B.开始使用用高频加热方式，这种方式粗糙简单，在以后的发展中不断改进，增加了坩埚的旋转和一些附属件，终于使这种加热方式初具规模C.外热式单晶炉对进一步扩大单晶硅生产阻碍较大，因此在直拉单晶炉的发展中出现了内热式D.内热式单晶炉用高纯石墨做发热体，发热体外面放保温材料，放在密封水冷的不锈钢炉膛内
多项选择题 为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，直拉单晶的发展趋势（）
多项选择题 外延法生长单晶描述正确的是（）
多项选择题 下列哪些是片状单晶生长法的特点？（）
