多项选择题
下列哪些是片状单晶生长法的特点？（）
A.省掉部分切磨抛工艺，大大提高了材料的利用率B.熔硅依靠毛细管作用，沿狭缝升到模具表面和籽晶融合C.拉速可达3000毫米/小时D.单晶表面完整，不须加工或少许加工就可制做器件
多项选择题 片状单晶生长法（EFG法）描述正确的是（）
多项选择题 以下哪些是悬浮区熔法的工艺特点？（）
多项选择题 下列哪些是区熔的工艺步骤（）
