多项选择题
以下哪些是悬浮区熔法的工艺特点？（）
A.区熔法不使用坩埚，污染少B.经区熔提纯后生长的硅单晶纯度较高C.区熔单晶的含氧量和含碳量低D.高阻硅单晶一般用此法生长
多项选择题 下列哪些是区熔的工艺步骤（）
多项选择题 区熔法描述正确的是（）
多项选择题 下列关于直拉法的描述正确的是（）
