单项选择题
用四氯化硅氢还原法进行硅提纯时，通过（）可以得到高纯度的四氯化硅。
A.高温还原炉B.精馏塔C.多晶沉积设备D.单晶炉
单项选择题 二氧化硅和碳在（）摄氏度的环境下反应可生成粗硅。
单项选择题 完善的精馏技术可将杂质总量降到（）量级。
单项选择题 从安全上看，四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法的安全性从小到大排列的顺序为（）
