单项选择题
从安全上看，四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法的安全性从小到大排列的顺序为（）
A.硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法＜三氯化硅氢还原法B.四氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法C.三氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法D.硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法＜四氯化硅氢还原法
单项选择题 注入能量和剂量分别控制了掺杂层的（）
单项选择题 掺杂结束后，要对硅片进行质量检测，造成硅片表面有颗粒污染的原因可能是（）
单项选择题 用比色法进行氧化层厚度的检测时，看到的色彩是（）色彩。
