单项选择题 掺杂结束后，要对硅片进行质量检测，造成硅片表面有颗粒污染的原因可能是（）

单项选择题 用比色法进行氧化层厚度的检测时，看到的色彩是（）色彩。

单项选择题 在制备完好的单晶衬底上，延其原来晶向，生长一层厚度、导电类型、电阻率及晶格结构都符合要求的新单晶层，该薄膜制备方法是（）