单项选择题
完善的精馏技术可将杂质总量降到（）量级。
A.10-2~10-5B.10-5~10-7C.10-7~10-10D.10-17~10-20
单项选择题 从安全上看，四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法的安全性从小到大排列的顺序为（）
单项选择题 注入能量和剂量分别控制了掺杂层的（）
单项选择题 掺杂结束后，要对硅片进行质量检测，造成硅片表面有颗粒污染的原因可能是（）
