问答题
什么是低压CVD和等离子CVD？各有何优点？
低压CVD：气相输运和反应。低压下气体扩散系数增大，使气态反应物和副产物的质量传输速率加快，形成薄膜的反应速率增加。......
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问答题 简述CVD的必要条件？
问答题 简述离子镀膜的优缺点？
问答题 简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理？
