问答题
简述离子镀膜的优缺点？
优点：（1）膜层的附着性好。利用辉光放电产生的大量高能粒子对基片进行清洗，在膜基界面形成过渡层或膜材与基材的成......
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问答题 简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理？
问答题 简述溅射机理？如何提高溅射率？
问答题 简述点蒸发和小平面蒸发源特性，如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。
