问答题
简述溅射机理？如何提高溅射率？
溅射是指这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下，形成气体等离子体（辉光放电），其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击，阳......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 简述点蒸发和小平面蒸发源特性，如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。
问答题 如何解决蒸发过程中的分馏问题？
问答题 按测量原理真空计可分几种，各自的定义及特点？
