问答题
简述CVD的必要条件？
1.在沉积温度下，反应物具有足够的蒸气压，并能以适当的速度被引入反应室2.反应产物除了形成固态薄膜物质外，都......
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问答题 简述离子镀膜的优缺点？
问答题 简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理？
问答题 简述溅射机理？如何提高溅射率？
