判断题
从安全性的角度考虑，改良西门子法优于硅烷法。
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判断题 闭路循环系统是指生产中的各种物料得到充分的利用，排出的废料极少。
多项选择题 CZ法产生位错的环节和方式有（）。
多项选择题 直拉单晶炉的主室包括（）。
