多项选择题
单晶中径向杂质分布描述正确的是()
A.N型单晶的掺杂元素蒸发速度常数都较大,径向电阻率受蒸发影响较大B.N型拉晶时的真空度、坩埚和单晶比例影响单晶径向电阻率的均匀性较大C.P型掺杂元素的蒸发速度常数都很小,蒸发作用不显著,对径向电阻率均匀性影响很小D.P型单晶真空度、坩埚和单晶比例影响较小,径向电阻率均匀性好
多项选择题 拉制单晶硅时常用的掺杂元素磷、砷、锑和硼、铝、镓,关于这些杂质的有效分凝系数描述正确的是()
多项选择题 对有效分凝系数描述正确的是()
多项选择题 影响单晶杂质浓度分布情况有以下几个方面描述正确的是()