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直拉单晶硅工艺学

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填空题

相对来说,生产的单晶硅的电阻率越低,需要用在硅中()的元素进行掺杂。

【参考答案】

固溶度大

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填空题 不同杂质在硅中的固溶度差别很大。两种元素原子半径差别越大,溶解度();原子外层电子数差别越大,溶解度()。

填空题 缩颈是为了排除引出单晶中的()。

填空题 引晶下种时,由于籽晶和熔硅温差大,()对籽晶造成强烈的热冲击,产生大量位错,通过缩颈,使晶体在生长中将位错“缩掉”,成为无位错单晶。

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