问答题
为何在离子注入后， 需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？
①为恢复经离子注入后造成的芯片表面损伤； ②使注入离子扩散至适当的深度； ③使注入离子移动到适当的晶格位置。
问答题 简述Spacer的主要功能？
问答题 何谓Spacer? Spacer蚀刻时要注意哪些地方？
问答题 何谓Hot carrier effect (热载流子效应)?
