多项选择题 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量，下面哪几种说法正确（）

多项选择题 扩散系数在何时不可以看成是常数（）

单项选择题 扩散掺杂，扩散区要比掩膜窗口尺寸（），这是（）效应引起的，它直接影响超大规模集成电路的集成度。