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直拉单晶硅工艺学

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填空题

拉制的硅单晶沿[111]晶向生长的有()的棱线,沿[100]晶向生长有()均匀分布的棱线。

【参考答案】

三条对称;四条

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填空题 籽晶是生长晶体的种子,也叫晶种,用籽晶引单晶,就是在将结晶的熔体中加入()。

填空题 对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉,石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗,然后进行清洁处理,多晶硅、母合金、籽晶一般用()腐蚀。

填空题 采用母合金作为掺杂剂,主要是为了(),从而达到()的目的。

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