判断题
操作人员从相应轨道氮气柜中拿取晶圆,拿取晶圆前,检查确认流程卡备注栏有无特殊要求,有特殊要求的按特殊要求执行。
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判断题 晶圆上机前,核对确认晶圆刻号与条码信息一致,倾斜晶圆,在灯光下0°~45°范围内缓慢晃动晶圆,目检确认晶圆外观,无外观缺陷后上机。
判断题 FCDA作业时,晶圆上机后设备扫描晶圆上条码,自动读取调用map。
判断题 未加工完的晶圆可一直保存在N2柜。