问答题
简述多晶硅注入的应用
源漏区注入该部分的注入工艺其能量相对较低，但剂量属中高范围，一般采用中束流及大束流注入机。（1）......
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问答题 简述离子注入的应用？
问答题 简述离子注入机的各部分工作原理？
问答题 简述离子注入掺杂工艺与扩散掺杂工艺的比较
